灯丝被Wehnelt 帽包围,Wehnelt帽封闭在灯丝组件上,中心有一个小孔,电子从小孔中流出。光镜的最佳分辨率约为200 nm,而常规的SEM的分辨率优于3nm,场发射SEM的分辨率普遍<1nm。
不过,在观察磁性材料时需要注意一些问题,例如磁性材料可能会受到磁场的干扰,导致图像失真或不清晰(需要消磁处理),在物镜强磁场模式下,磁性材料可能会吸附在极靴上,污染镜筒(需要固定好样品,设置合理的工作距离,至少>5mm)。不同的电镜型号会有不同名称的SE探测器,比如赛默飞的T2探测器,蔡司的Inlens探测器,日立的UP探测器,JEOL的UHD探测器,TESCAN的In-Beam探测器等。
1、secret
SE是由非弹性散射形成的低能电子,能量小于50eV,这些低能电子很容易被收集,通过在SE探测器的前端放置一个正偏压栅来实现(正偏压栅吸引负电子),通常是Everhart-Thornley探测器,位于试样的一侧。
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